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产品特点

– 转移精度微米级，光斑尺寸毫米级

– 运动平台XY轴重复定位精度纳米级

– 光学 Mask 旋转设计，可调整光斑方向

– 上下平台水平可自动调整，调整精度微米级

– 供体平台可对应 4&6英寸晶圆或者载板

– 受体运动平台支持基板470*370mm基板

核心技术

- 自主设计光路系统

- 客制化光斑尺寸

- 高精度运动对合平台

- 在线光斑分析

- 精准的转移间距控制