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产品特点

– 采用固体激光器，运行稳定，维护费用低

– 可对应4~8 英寸晶圆清洗，支持载台更换

– 多家客户清洗验证，清洗低损伤、高良率

– 可监控激光器状态，确保加工品质一致

– 支持Flat、PSS外延结构LED 清洗作业

核心技术

- 特定的脉宽控制，汽化Ga的同时避免破坏发光层

- 可视化编辑清洗位置