产品特点
– 根据CAD档自动建模,自动规划检测路径
– 高解析度成像,最小分辨率微米级
– 检测曝光精度,同时输出开窗区尺寸,兼容检测焊盘缺陷
核心技术
– 曝光区域精确定位和检测技术
– 自动路径规划技术
– 高分辨率图像的高速采集与处理技术
– 高精度平台设计和控制技术
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