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设备缓存存储柜NTB
应用场景：作为生产节拍高的设备前端的缓存空间，它将等待加工和搬送的晶圆物料临时储存起来，自动快速的完成天车及Load Port的物料取放对接任务，大幅提高工业设备的使用效率
产品特点
– 高洁净度、高精度、高可靠性
– 抽屉式可拉出Manual Port
– 针对2-4 Port, 提供客户定制系统
– 根据需要可配置6-12个Buffer
– 符合SEMI标准，可与Fab系统数据交互，以及基于E84通讯协议对接天车系统
核心技术
– 高精度、高可靠性、高洁净度
– 振动抑制技术
京公网安备 11030102011246号
