晶圆自动分拣机Sorter_合肥彩名堂智能机器股份有限公司


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晶圆自动分拣机Sorter
应用场景:高速、洁净地对晶圆进行传送、分批、合批、对齐、读刻号、翻转等,与厂内天车系统进行对接



产品特点



– 高洁净度、可靠性、高重复定位精度

– 提供客户定制系统

– 2~16 Port 装载端口

– 占地面积小

– 低Wafer ID 读取失败率

核心技术



– 高洁净度、可靠性、 重复精度

– 控制 Wafer 及遏制设备震动

– OCR 控制及读取 Wafer ID



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