晶圆盒存储库Stocker_合肥彩名堂智能机器股份有限公司

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晶圆盒存储库Stocker

应用场景:广泛应用于半导体芯片生产与封装、硅片制造行业生产线上晶圆盒物流自动存储,作为物料存储空间以平衡各生产工艺设备间的产能差异,可增加无尘室的空间使用率


产品特点



– 全面的防撞与安全连锁

– 高新能振动与平稳运行

– 占用空间少

– 轻量化结构设计

– 多维度、高精度定位

核心技术



– 高洁净设计

– 故障诊断与预测技术

– 振动抑制技术



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