半导体设备前端模块EFEM_合肥彩名堂智能机器股份有限公司



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    半导体设备前端模块EFEM

    应用场景:广泛应用于半导体芯片制造与封装、硅片制造行业核心工艺制程设备的前端模块,与工艺机台搭配使用,对晶圆进行上下料搬运。可根据产能与工艺要求,配置不同Port数量和功能,并可配置E84模块,可与厂内天车系统进行对接


    产品特点



    – 高洁净度,高信赖性

    – 高传输速度

    – 高重复定位精度

    – N₂Purge系统,防腐蚀

    – 快速设置

    核心技术



    – 高洁净度控制技术、净化设计技术

    – 平稳快速搬运振动抑制技术

    – 耐腐蚀性技术

    – N₂ Purge技术

    – 腐蚀气体强制排气技术



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